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MKS Instruments電容壓力計,壓力傳感器技術(shù)參數(shù)

更新時間:2023-03-10   點擊次數(shù):1297次

 

MKS Instruments,Inc.是過程控制解決方案的全球提供商,該解決方案可以測量,控制,供電,監(jiān)視和分析先進制造過程的關(guān)鍵參數(shù),以提高過程性能和生產(chǎn)率。我們的產(chǎn)品源于我們在壓力測量和控制,流量測量和控制,氣體和蒸汽輸送,氣體成分分析,殘留氣體分析,控制和信息技術(shù),臭氧產(chǎn)生和輸送,射頻和直流功率,無功氣體產(chǎn)生方面的核心競爭力以及真空技術(shù)。

 

壓力測量與控制

MKS是壓力和真空測量的。MKS系列壓力和真空測量儀器包括Baratron®電容壓力計,壓力傳感器,壓力開關(guān)和壓力控制子系統(tǒng)。

MKS系列用于控制真空和壓力的解決方案包括下游閥門和控制器,上游閥門和控制器,真空隔離閥和集成解決方案。我們的廣泛產(chǎn)品包括高速蝶形控制閥,高速擺閥,SST隔離閥以及具有基于模型的高級控制的閉環(huán)壓力控制器。

MKS是下游壓力控制子系統(tǒng)的,該子系統(tǒng)集成了排氣節(jié)流閥,先進的數(shù)字控制器和Baratron®過程壓力計。我們的整體解決方案以更快的設(shè)定值提供更高的吞吐量,減少了過沖/下沖,并增加了正常運行時間。

流量測量與控制

MKS系列質(zhì)量流量控制器儀器可在各種應(yīng)用中測量和控制關(guān)鍵氣體的流量,例如半導(dǎo)體制造,光學(xué)涂料和平板顯示器制造。

   

MKS Instruments的質(zhì)量流量控制器(MFC)和質(zhì)量流量計(MFM)可以進行模擬或數(shù)字通訊,并具有彈性體或金屬密封件。模擬質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計是基本應(yīng)用的理想選擇,以簡單且經(jīng)濟高效的封裝提供高性能。與模擬質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計相比,數(shù)字質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計設(shè)備具有多個優(yōu)點-改進的診斷功能,單個包裝中的多種氣體功能以及多種范圍的功能,從而減少了備件需求并總體上降低了擁有成本。


 

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